半導(dǎo)體行業(yè)激光切割 / 焊接成功案例
企業(yè)背景:中科院上海光機所博士團隊創(chuàng)立,國家高新技術(shù)企業(yè),專注半導(dǎo)體精密激光微加工,全波段(紅外 / 綠光 / 紫外 / 深紫外)自研,12 項發(fā)明專利 + 30 項實用新型專利,替代進口、降本 30%–50%。
一、激光切割成功案例(晶圓 / 掩膜板 / 陶瓷)
1. 超薄晶圓隱形切割(功率器件量產(chǎn))
加工對象:35μm–100μm 超薄硅晶圓(IGBT/MOSFET)、6–8 英寸 SiC/GaN 硬脆晶圓
工藝:紫外 / 皮秒激光隱形切割(非接觸、無崩邊)
關(guān)鍵指標:
切割良率:99.8%+
碎片率:<0.05%
熱影響區(qū):≤2μm
邊緣粗糙度:Ra<0.5μm
切割道寬:≤15μm(傳統(tǒng)線切≈100μm)
客戶價值:適配新能源汽車 / 光伏功率器件,材料利用率↑40%、單片成本↓60%。
2. 半導(dǎo)體掩膜板 / 精密切割(光刻 / 封裝)
加工對象:不銹鋼 / 鎳合金掩膜板(最小線寬 10μm)、陶瓷 / 藍寶石基板、晶圓劃片槽
工藝:深紫外激光冷切割(無熱損傷、無毛刺)南京帝耐激光科技有限公司
關(guān)鍵指標:
最小線寬:8μm
定位精度:±1μm
良率:99.9%+
無發(fā)黑、無崩邊、無需二次清洗
客戶價值:替代進口設(shè)備,適配5G 射頻芯片、MEMS 傳感器量產(chǎn)
3. Micro LED 晶圓 / 基板切割(顯示巨量轉(zhuǎn)移)
加工對象:4–12 英寸藍寶石 / 玻璃基板、Micro LED 芯片晶圓
工藝:皮秒激光 + AI 視覺(自動定位、自適應(yīng)參數(shù))
關(guān)鍵指標:
切割速度:200mm/s(傳統(tǒng)≈50mm/s)
崩邊寬度:<2μm
翹曲變形:<0.01mm
客戶價值:解決巨量轉(zhuǎn)移崩邊 / 翹曲痛點,良率提升至99.7%
二、激光焊接成功案例(精密封裝 / 異質(zhì)鍵合)
1. 芯片引腳 / 框架精密焊接(半導(dǎo)體封裝)
加工對象:銅 / 鎳 / 金引腳、QFN/DFN 框架、傳感器氣密外殼
工藝:脈沖激光點焊 / 縫焊(低應(yīng)力、非接觸)
關(guān)鍵指標:
焊點直徑:0.1–0.5mm
熱影響區(qū):≤2μm
密封漏率:<1×10?? atm·cc/s(軍工級)
焊點強度:↑50%(對比超聲焊)
客戶價值:替代超聲 / 膠水,解決封裝不牢、密封性差問題,適配車載 / 軍工級芯片。
2. 功率模塊銅鋁異質(zhì)焊接(IGBT / 新能源電控)
加工對象:銅鋁端子、散熱基板、DCB 陶瓷覆銅板
工藝:藍光激光復(fù)合焊接(短波長、高吸收、無脆化)
關(guān)鍵指標:
熔深:銅 5mm+、鋁 3mm+
無氣孔、無飛濺、無裂紋
抗拉強度:>220MPa
熱影響區(qū):<3μm
客戶價值:解決銅鋁異質(zhì)焊接脆化 / 脫落痛點,適配新能源汽車電控、光伏逆變器。
3. 金塑復(fù)合封裝焊接(傳感器 / 光電子器件)
加工對象:金屬引腳 + 塑料外殼、透鏡基座、光纖耦合器
工藝:紅外激光透射焊接(自研金塑復(fù)合專利技術(shù))
關(guān)鍵指標:
拉伸強度:≥35MPa
氣密性:100%(無泄漏)
熱影響區(qū):<0.1mm
良率:99.5%+
客戶價值:全球少數(shù)掌握金塑復(fù)合激光焊接企業(yè),替代傳統(tǒng)工藝,適配5G 光模塊、醫(yī)療傳感器。
三、核心設(shè)備與技術(shù)優(yōu)勢
1. 主力設(shè)備
紫外 / 皮秒激光切割機(DN-U 系列):晶圓 / 掩膜板專用,精度 ±1μm
脈沖 / 連續(xù)激光焊接機(DN-W 系列):引腳 / 封裝 / 異質(zhì)材料,軍工級密封
晶圓打標機(DN-M 系列):CCD 自動定位,正反面打標,自動上下料
2. 技術(shù)核心
全波段覆蓋:紅外 / 綠光 / 紫外 / 深紫外,適配硅、SiC、GaN、陶瓷、金屬
AI 智能加工:視覺自動對位、參數(shù)自適應(yīng)、缺陷實時檢測,人機比 1:20
極致微加工:熱影響區(qū)低至0.1μm,最小線寬8μm,定位精度 ±1μm
國產(chǎn)替代:核心部件自研,成本較進口低40%–60%,2 年質(zhì)保 + 終身維護
四、客戶與價值總結(jié)
典型客戶:國內(nèi)頭部封測廠、功率器件企業(yè)、Micro LED 廠商、軍工電子研究所
核心價值:
切割:良率99.8%+,損耗↓70%,效率↑3 倍
焊接:軍工級密封,異質(zhì)強度↑50%,無熱應(yīng)力
服務(wù):定制化方案 + 自動化產(chǎn)線集成 + 4 小時極速售后
一、激光切割成功案例(晶圓 / 掩膜板 / 陶瓷)
1. 超薄晶圓隱形切割(功率器件量產(chǎn))
加工對象:35μm–100μm 超薄硅晶圓(IGBT/MOSFET)、6–8 英寸 SiC/GaN 硬脆晶圓
工藝:紫外 / 皮秒激光隱形切割(非接觸、無崩邊)
關(guān)鍵指標:
切割良率:99.8%+
碎片率:<0.05%
熱影響區(qū):≤2μm
邊緣粗糙度:Ra<0.5μm
切割道寬:≤15μm(傳統(tǒng)線切≈100μm)
客戶價值:適配新能源汽車 / 光伏功率器件,材料利用率↑40%、單片成本↓60%。
2. 半導(dǎo)體掩膜板 / 精密切割(光刻 / 封裝)
加工對象:不銹鋼 / 鎳合金掩膜板(最小線寬 10μm)、陶瓷 / 藍寶石基板、晶圓劃片槽
工藝:深紫外激光冷切割(無熱損傷、無毛刺)南京帝耐激光科技有限公司
關(guān)鍵指標:
最小線寬:8μm
定位精度:±1μm
良率:99.9%+
無發(fā)黑、無崩邊、無需二次清洗
客戶價值:替代進口設(shè)備,適配5G 射頻芯片、MEMS 傳感器量產(chǎn)
3. Micro LED 晶圓 / 基板切割(顯示巨量轉(zhuǎn)移)
加工對象:4–12 英寸藍寶石 / 玻璃基板、Micro LED 芯片晶圓
工藝:皮秒激光 + AI 視覺(自動定位、自適應(yīng)參數(shù))
關(guān)鍵指標:
切割速度:200mm/s(傳統(tǒng)≈50mm/s)
崩邊寬度:<2μm
翹曲變形:<0.01mm
客戶價值:解決巨量轉(zhuǎn)移崩邊 / 翹曲痛點,良率提升至99.7%
二、激光焊接成功案例(精密封裝 / 異質(zhì)鍵合)
1. 芯片引腳 / 框架精密焊接(半導(dǎo)體封裝)
加工對象:銅 / 鎳 / 金引腳、QFN/DFN 框架、傳感器氣密外殼
工藝:脈沖激光點焊 / 縫焊(低應(yīng)力、非接觸)
關(guān)鍵指標:
焊點直徑:0.1–0.5mm
熱影響區(qū):≤2μm
密封漏率:<1×10?? atm·cc/s(軍工級)
焊點強度:↑50%(對比超聲焊)
客戶價值:替代超聲 / 膠水,解決封裝不牢、密封性差問題,適配車載 / 軍工級芯片。
2. 功率模塊銅鋁異質(zhì)焊接(IGBT / 新能源電控)
加工對象:銅鋁端子、散熱基板、DCB 陶瓷覆銅板
工藝:藍光激光復(fù)合焊接(短波長、高吸收、無脆化)
關(guān)鍵指標:
熔深:銅 5mm+、鋁 3mm+
無氣孔、無飛濺、無裂紋
抗拉強度:>220MPa
熱影響區(qū):<3μm
客戶價值:解決銅鋁異質(zhì)焊接脆化 / 脫落痛點,適配新能源汽車電控、光伏逆變器。
3. 金塑復(fù)合封裝焊接(傳感器 / 光電子器件)
加工對象:金屬引腳 + 塑料外殼、透鏡基座、光纖耦合器
工藝:紅外激光透射焊接(自研金塑復(fù)合專利技術(shù))
關(guān)鍵指標:
拉伸強度:≥35MPa
氣密性:100%(無泄漏)
熱影響區(qū):<0.1mm
良率:99.5%+
客戶價值:全球少數(shù)掌握金塑復(fù)合激光焊接企業(yè),替代傳統(tǒng)工藝,適配5G 光模塊、醫(yī)療傳感器。
三、核心設(shè)備與技術(shù)優(yōu)勢
1. 主力設(shè)備
紫外 / 皮秒激光切割機(DN-U 系列):晶圓 / 掩膜板專用,精度 ±1μm
脈沖 / 連續(xù)激光焊接機(DN-W 系列):引腳 / 封裝 / 異質(zhì)材料,軍工級密封
晶圓打標機(DN-M 系列):CCD 自動定位,正反面打標,自動上下料
2. 技術(shù)核心
全波段覆蓋:紅外 / 綠光 / 紫外 / 深紫外,適配硅、SiC、GaN、陶瓷、金屬
AI 智能加工:視覺自動對位、參數(shù)自適應(yīng)、缺陷實時檢測,人機比 1:20
極致微加工:熱影響區(qū)低至0.1μm,最小線寬8μm,定位精度 ±1μm
國產(chǎn)替代:核心部件自研,成本較進口低40%–60%,2 年質(zhì)保 + 終身維護
四、客戶與價值總結(jié)
典型客戶:國內(nèi)頭部封測廠、功率器件企業(yè)、Micro LED 廠商、軍工電子研究所
核心價值:
切割:良率99.8%+,損耗↓70%,效率↑3 倍
焊接:軍工級密封,異質(zhì)強度↑50%,無熱應(yīng)力
服務(wù):定制化方案 + 自動化產(chǎn)線集成 + 4 小時極速售后
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